一、設備用途:本設備主要用于晶體硅太陽電池制造中與管式PECVD配套對硅片進行裝卸。即將硅片從料盒中自動裝載至石墨舟中,同時將石墨舟中已經完成工藝處理的硅片自動裝載至料盒中。二、技術特點:1、國內首創非機械手式全新技術方案。2、較機械手式自動插片機更明顯的性價比優勢。3、核心部件都是自主開發,大大降低客戶維護成本。4、兼容性好:與市場現有PECVD設備所配小車能兼容,最大限度降低客戶使用成本。
三、技術指標:
產品種類 | WIL(在線式) | WOL(離線式) |
型號 | FWT-IL | FWT-OL-A |
適用硅片 | 125mm/156mm(單、多晶) | 125mm/156mm(單、多晶) |
碎片率 | <0.1% | <0.1% |
產能 | 1800 pcs/h | 3000 pcs/h(12舟/小時) |
硅片厚度 | 130~240um | 130~240um |
尺寸(L/W/H) | 3710mmX2000mmX2345mm | 3710mmX2000mmX2345mm |
UP-TIME | >97% | >97% |