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CZ-90A
CZ-90A晶體生長設備主要用于拉制Φ8"-Φ10"大直徑、低氧碳單晶硅棒,熔料量100KG,該產品的外觀設計及電器控制均有自已獨特的創新,該產品采用了PLC自動控制系統,自動化運行控制精度高,并保證了硅單晶生長所需的穩定、連續、高效的生長環境,增加了功率因數補償,提高功率因數,降低損耗,達到節能的目的,并減少了電網污染,利用了先進的磁性流體密封+機械密封+新型的盲道,解決了旋轉軸卡滯,提高了真空度。
CZ-80A
CZ-80A晶體生長設備主要用于拉制Φ6"-Φ8"大直徑、低氧碳單晶硅棒,采用自主知識產權的18"熱系統,熔料量65KG,該產品的外觀設計及電器控制均有自已獨特的創新,該產品采用了PLC自動控制系統,自動化運行控制精度高,并保證了硅單晶生長所需的穩定、連續、高效的生長環境,增加了功率因數補償,提高功率因數,降低損耗,達到節能的目的,并減少了電網污染,利用了先進的磁性流體密封+機械密封+新型的盲道,解決了旋轉軸卡滯,提高了真空度。