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New Mega系列膜片閥適用于各種半導體裝置、設備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產線使用。 該閥利用直接式隔膜結構,達到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。并且在Mega系列膜片閥基礎上實現了小型化。 口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達20.5Mpa 材質:SUS316L EP級處理軟管·金屬膜片系列 適用于各種半導體裝置、設備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產線使用。該閥采用金屬軟管結構,具備高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。 口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達16.2Mpa 材質:SUS316L EP級處理